Bei der industriellen Fertigung von Solarzellen ist die Passivierung des Siliziumvolumens das Erzeugen einer Schutzschicht durch Wasserstoff von elementarer Bedeutung, um einen maximalen Wirkungsgrad der Solarzellen hervorzurufen. Während der Passivierung wird in einem Plasmaprozess eine wasserstoffreiche Silizium-Nitrid-Schicht (SiN:H-Schicht) auf der Solarzellenoberfläche aufgebracht. Im Anschluss daran wird die SiN:H-Schicht in einem thermischen Prozess aktiviert, wodurch der Wasserstoff aus dieser Schicht in das Volumen der Solarzelle eindringen kann. Der Wasserstoff bindet dort sogenannte Rekombinationszentren und gleicht so beispielsweise Verunreinigungen aus. Dieser Vorgang bewirkt eine Verbesserung des Wirkungsgrades der Solarzellen.
Jedoch ist bei der thermischen Aktivierung der SiN:H-Schicht mit dem Ausdampfen des Wasserstoffs in die Atmosphäre auch der umgekehrte Prozess, die Effusion, möglich, bei der Wasserstoffatome verlorengehen können. Vor diesem Hintergrund ist für ein Verhindern der Effusion beziehungsweise für die Optimierung der SiN:H-Passivierung die Kenntnis der Wasserstoff-Effusion aus dem System notwendig. Von zentraler Bedeutung ist die Frage, unter welchen Bedingungender Wasserstoff diffundiert.
Der nun am Fraunhofer CSP in Betrieb genommene Effusionsmessplatz ermöglicht die Bestimmung der Wasserstoffkonzentration in den SiN:H-Schichten. Die mit dem neuen Verfahren mögliche Effusions- beziehungsweise Diffusionsmessung von Wasserstoff unterstützt die Entwicklung einer optimierten SiN:H-Volumenpassivierung, beispielweise durch die Analyse von sogenannten Diffusionsbarrieren. Diese unterdrücken eine H-Effusion in die Atmosphäre und verbessern damit die Wasserstoff-Diffusion in das Siliziumvolumen, die eine Erhöhung des Wirkungsgrades nach sich zieht.
Der Effusionsmessplatz steht auch Partnern aus Industrie und Forschung zur Verfügung, um den Wirkungsgrad und die Langzeitstabilität von kristallinen Solarzellen zu verbessern. Entstanden ist das neuartige Messsystem im Rahmen eines Forschungsprojektes in Kooperation mit der Hanyang Universität (Südkorea).
